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RWDE 双臂晶圆机器人

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具软硬体垂直整合优势,采用高精密、高刚性之直驱马达,重复精度可达到±0.1mm。且回转半径小,大幅提升空间使用率。支持非径向取放功能,末端可再选配马达驱动之模组实现翻转功能。

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